等離子清洗機種類也有很多，通常多可分為大氣等離子清洗機和真空等離子清洗機，區(qū)別在于工作時所處的氣壓環(huán)境狀態(tài)，前者為常壓放電，后者是在低壓真空的環(huán)境下產生輝光放電，無論是哪一種，其等離子體產生的過程卻是基本相同的。
物質從能量較低的聚合態(tài)轉為能量較高的聚集態(tài)需要外界提供足夠的能量，形式有加溫、電場、輻射等，等離子清洗機所產生的等離子體便是一種能量較高的物質聚集態(tài)，通過對氣體施加電場能量電離為原子、離子、電子等，等離子體中，由于所帶的正負電荷數(shù)幾乎相等，所以在宏觀層面上能夠將其看做是電中性的。理論解釋比較晦澀，我們可以通過水為例來了解一下。
當溫度在0℃以下時，水就會呈現(xiàn)固體形態(tài)冰；通過加熱，當在0℃到100℃之間，就會由固體形態(tài)冰化為液體形態(tài)的水；而當溫度繼續(xù)上升到100℃以上，液體形態(tài)的水就會變成氣態(tài)的水蒸氣。而溫度到上萬度之后轉化為包括原子、離子、電子在內多種粒子的等離子體。
在等離子體具體的產生過程中，大氣等離子清洗機是把無水無油的壓縮空氣即CDA，通過噴槍電極電離而形成等離子體。
而真空等離子清洗機是先將反應腔體抽成真空狀態(tài)，然后通入反應氣體，維持腔體內一定的真空度，再將電通電，形成高頻高壓電場，電離形成等離子體。
